พิเอโซสเตจที่แม่นยำสำหรับวัตถุประสงค์ในการใช้งานกับกล้องจุลทรรศน์และการจัดตำแหน่งของออพติค
สำหรับระยะ closed-loop 400 μm; สำหรับระยะ open-loop 450 μm
การเคลื่อนทิ่แบบสเตป การเซ็ทตัวและการสแกนที่ประสิทธิภาพยอดเยี่ยม
ออกแบบขึ้นมาเพื่อใช้งานกับเลนส์วัตถุที่มีขนาดใหญ่และมีค่ารูรับแสงเชิงตัวเลขสูง
ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของรูรับแสง 29 มม.
พิเอโซสเตจระดับนาโนเมตรรุ่น QFOCUS® QF-50 ของ Aerotech ออกแบบขึ้นมาเพื่อวัตถุประสงค์ในการใช้งานกับกล้องจุลทรรศน์และการจัดตำแหน่งของออพติคที่มีประสิทธิภาพสูง รองรับระยะ closed-loop 400 μm และระยะ open-loop 450 μm เคลื่อนที่ด้วยความเร็วสูง ความแม่นยำเชิงเส้น 0.01% ความละเอียดที่น้อยกว่าระดับนาโนเมตร และค่าการทำซ้ำในการเคลื่อนที่แบบสองทิศทาง 4 nm นอกจากนี้ QF-50 ยังรองรับอุปกรณ์ออพติคอลและแอพพลิเคชั่นไมโครแมชชีนเลเซอร์รุ่นใหม่ เนื่องจากมีการออกแบบเชิงกลให้มีค่าความแข็งแรงสูง QF-50 ให้ผลที่ดีกว่าพิเอโซสแกนเนอร์ของคู่แข่ง เนื่องจากค่ารูรับแสง (NA) เชิงตัวเลขที่มากกว่าและสูงกว่า QF-50 เหมาะสำหรับการใช้งานในการจัดตำแหน่งออพติคที่ต้องการความแม่นยำสูงและปริมาณงานควบคู่ไปกับการเคลื่อนที่ที่ต้องการระยะการเคลื่อนยาว
การออกแบบที่ความแม่นยำ
QFOCUS QF-50 ถูกออกแบบโดยใช้การวิเคราะห์องค์ประกอบทางไฟไนท์อิลิเมนท์ที่มีความแม่นยำเพื่อให้ได้ค่าความแข็งและความถี่เรโซแนนท์ที่โดดเด่น เพื่อช่วยให้ได้ปริมาณออกที่สูงและการตอบสนองแบบ close-loop ที่รวดเร็ว การออกแบบตลับลูกปืนที่ยืดหยุ่นของ QF-50 ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถัน เพื่อรับประกันประสิทธิภาพการทำงานที่ยอดเยี่ยมและ straightness error 40 nm ตลอดช่วงการเคลื่อนที่ทั้งหมด
สัญญาณป้อนกลับระบบมาตรวิทยาโดยตรง
สัญญาณป้อนกลับแบบ closed-loop ซึ่งเป็นตัวเลือกเสริมที่ใช้การออกแบบเซ็นเซอร์ระบบคาปาซิทีฟที่โดดเด่น ซึ่งช่วยในด้านความละเอียดที่น้อยกว่าระดับนาโนเมตรและความแม่นยำเชิงเส้นสูง ซึ่งแตกต่างจากฟอยล์เสตรนเกจหรือเซ็นเซอร์พิเอโซรีซิสทีฟ เซ็นเซอร์คาปาซิทีฟวัดผลโดยตรงจากการเคลื่อนที่ของตำแหน่งคาริเอ่อร์ เพื่อความเที่ยงตรงและความสามารถในการทำซ้ำที่เหนือชั้นกว่า
คอนโทรลเลอร์ที่ยืดหยุ่นและแม่นยำ
เมื่อทำงานควบคู่กับคอนโทรลเลอร์และไดร์ฟในรุ่น Q-series ของ Aerotech เครื่องรุ่น QF-50 แสดงให้เห็นถึงความละเอียดในการจัดวางตำแหน่งที่น้อยกว่าระดับนาโนเมตรและความเสถียรเมื่ออยู่ในตำแหน่ง (การสั่น) ในขณะเดียวกับที่ยังรักษาแบนด์วิดท์การจัดวางตำแหน่งในระดับสูงด้วย ตัวเลือกซอฟต์แวร์ขั้นสูง เช่น Dynamic Controls Toolbox (กล่องเครื่องมือสำหรับการควบคุมแบบไดนามิก) และ Motion Designer (โปรแกรมออกแบบการเคลื่อนไหว) ซึ่งมีเครื่องมือหลายรูปแบบที่ใช้งานง่ายและมีประสิทธิภาพสูง รวมถึง Iterative Learning Control (การควบคุมการศึกษาซ้ำ), Harmonic Cancellation (การยกเลิกฮาร์มอนิก) และ Command Shaping(การสร้างรูปแบบตามคำสั่ง) ช่วยปรับปรุงการติดตามผลข้อผิดพลาดให้ดีขึ้นและเวลาของสเตปและการเซ็ทตัวที่รวดเร็วขึ้น นอกจากนี้ยังมีตัวเลือกไดร์ฟ OEM ที่พร้อมใช้งานด้วย
ความยืดหยุ่นในการติดตั้ง
QF-50 สามารถใช้งานกับอะแดปเตอร์แบบเกลียวได้เพื่อให้เหมาะกับการทำงานของกล้องจุลทรรศน์และวัตถุพอดี การติดตั้งแท่นหมุนของกล้องจุลทรรศน์ช่วยให้สามารถจัดตำแหน่งได้อย่างรวดเร็วและง่ายดายตามทิศทางที่ต้องการ นอกจากนี้ รูที่เจาะเป็นเกลียวบนตัวสเตจยังช่วยเพิ่มทางเลือกในการติดตั้งอินเตอร์เฟสแบบกำหนดเองในเครื่องจักรหรืออุปกรณ์ออพติคอลอื่นๆ QF-50 มีรูรับแสงกว้าง 29 มม.ตามมาตรฐาน และยังมีการออกแบบระยะการเคลื่อนที่และอะแดปเตอร์แบบเกลียวที่สามารถกำหนดได้ตามความต้องการ
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติม โปรดติดต่อ Steve McLane ที่หมายเลขโทรศัพท์ 412-967-6854 (เบอร์ติดต่อโดยตรง) หรือผ่านทางอีเมลได้ที่ This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.'+addy_textf1ff2ac9496e83cf02db9246c9d682cf+'<\/a>';
PR0517A
