พิเอโซสเตจ XYZ สำหรับการเคลื่อนที่แบบ 3 ทิศทางที่แม่นยำ
ระยะการเคลื่อนที่ 120 μm x 120 μm x 12 μm
ช่องรับแสงรูปทรงสี่เหลี่ยมกว้าง 40 x 40 มม.
การออกแบบระบบเคลื่อนที่แบบคู่ขนานที่อยู่ในระหว่างการรอรับสิทธิบัตรส่งมอบประสิทธิภาพในการทำงานเชิงจีโอเมทริคที่ไม่มีอุปกรณ์ใดเทียบได้
ความละเอียดในการจัดตำแหน่งที่เหนือชั้นและความเที่ยงตรงด้วยเซ็นเซอร์ชนิดคาปาซิทีฟสำหรับการวัดโดยตรง
พิเอโซสเตจ XYZ ในซีรีย์ QNP3 สำหรับการจัดตำแหน่งของ Aerotech ประกอบด้วยความละเอียดแบบซับนาโนเมตร ระบบไดนามิคระดับสูง และประสิทธิภาพในการทำงานเชิงจีโอเมทริคที่ยอดเยี่ยม ในแพ็คเกจการเคลื่อนที่แบบอิสระ 3 ทิศทางที่มีขนาดกะทัดรัด (three-degree-of-freedom หรือ DoF) นอกจากนี้ยังมีช่องรูรับแสงกว้าง 40 มม. x 40 มม. พร้อมด้วยการเคลื่อนที่แบบระบบปิดที่เคลื่อนที่ได้ถึง 100 μm x 100 μm x 10 μm (การเคลื่อนที่แบบระบบเปิดเคลื่อนที่ได้ถึง 120 μm x 120 μm x 12 μm) การออกแบบที่เหมาะสมสำหรับกล้องจุลทรรศน์ที่ใช้ตรวจบาดแผลด้วยสายตาหรือการตรวจแบบสแกน หรือการใช้งานในการตรวจสอบตลอดจนการผลิตอื่น ๆ ซึ่งจำเป็นต้องเข้าถึงจากทั้งสองด้านด้วยการจัดการแบบ Three-DoF
การออกแบบระบบการเคลื่อนที่แบบคู่ขนานที่แม่นยำ
พิเอโซสเตจ QNP3 ใช้หลักการงอตัวเพื่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบคู่ขนานที่แม่นยำแบบ FEA (Finite Element Analysis)ที่เหมาะสม และการออกแบบตามระบบมาตรวิทยา เพื่อรับประกันถึงความแม่นยำมัลติแอคซิสที่เหนือชั้นกว่า ความแข็งแรงสูง และอายุการใช้งานของอุปกรณ์ที่ยาวนาน ความแข็งแรงสูงและความถี่เรโซแนนซ์ช่วยเพิ่มปริมาณงานระดับสูงและการตอบสนองระบบปิดที่รวดเร็ว
การออกแบบไดร์ฟขับเคลื่อนที่อยู่ในระหว่างการรอรับสิทธิบัตรช่วยลดข้อผิดพลาดจากการเลี้ยวผิดทิศทางของแกน X และ Y ในขณะที่ยังคงรักษาระบบการวัดที่สอดคล้องกับ Abbe อย่างต่อเนื่อง การออกแบบนี้ส่งผลให้เกิดประสิทธิภาพในการจัดตำแหน่งที่ไม่มีอุปกรณ์ใดเทียบได้ในพื้นที่การเคลื่อนไหวทั้งหมดของ XY สำหรับแอคทูเอเตอร์แกน Z และเซ็นเซอร์ชนิดคาปาซีทีฟได้รับการออกแบบขึ้นมาเพื่อตอบสนองระบบป้อนกลับที่สอดคล้องกับ Abbe ในในทิศทางตามแนวตั้งโดยมีข้อผิดพลาดทางเรขาคณิตน้อยที่สุด
ประสิทธิภาพระดับซับนาโนเมตร
พิเอโซสเตจ QNP3 สามารถใช้งานกับระบบป้อนกลับทั้งแบบระบบปิดและระบบเปิดได้ การออกแบบตามระบบมาตรวิทยาการวัดแบบขนานในเซ็นเซอร์ชนิดคาปาซีทีฟที่โดดเด่นสามารถวัดผลการทำงานโดยตรงในการเคลื่อนตามตำแหน่ง ให้ความละเอียดระดับซับนาโนเมตร ข้อผิดพลาดเชิงเส้นที่ดีขึ้นมากกว่า 0.01% และการทำซ้ำในระยะนาโนเมตรที่เป็นเลขหลักเดียว
การควบคุมด้วยความแม่นยำเป็นพิเศษ
เมื่อเทียบกับคอนโทรลเลอร์และไดร์ฟในซีรีย์ Q ของ Aerotech พิเอโซสเตจ QNP3 แสดงให้เห็นถึงความละเอียดในการจัดตำแหน่งระดับซับนาโนเมตรและความเสถียร (การสั่น) เมื่ออยู่ในตำแหน่งในขณะที่ยังคงรักษาแบนด์วิดท์ในการจัดตำแหน่งระดับสูง ตัวเลือกซอฟต์แวร์ขั้นสูงต่าง ๆ เช่น คอนโทรลทูลบ็อกซ์ระบบไดนามิคและตัวออกแบบการเคลื่อนไหว นำเสนอเครื่องมือที่ใช้งานง่ายและมีประสิทธิภาพสูง รวมถึงการควบคุมการเรียนรู้ซ้ำ (Iterative Learning Control), การยกเลิกแบบฮาร์มอนิก (Harmonic Cancellation) และการสร้างรูปแบบคำสั่ง (Command Shaping) ช่วยปรับปรุงข้อผิดพลาดในการติดตามผลให้ดีขึ้นตลอดจนขั้นตอนและการจัดการเวลาที่รวดเร็วขึ้น นอกจากนี้ยังมีตัวเลือกไดร์ฟ OEM ด้วย
ตัวเลือกในการออกแบบ
แผ่นติดตั้งเสริมช่วยให้สามารถติดตั้งเข้ากับโต๊ะออพติคอลเบรดบอร์ดแบบอังกฤษหรือเมตริกได้โดยตรง และยังมีด้านบนของโต๊ะทำงานที่แข็งแรงอีกด้วย พิเอโซสเตจ QNP3 ผลิตจากวัสดุที่สามารถกำหนดได้ตามความต้องการและสามารถผลิตในเวอร์ชั่นสูญญากาศได้
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติม โปรดติดต่อ Steve McLane ที่หมายเลขโทรศัพท์ 412-967-6854 (เบอร์ติดต่อโดยตรง) หรือผ่านทางอีเมลที่ This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.'+addy_textef2c7f38e18720c10626655a0a83a10b+'<\/a>';
PR0417A
